| 机台尺寸(W*D*H) | 190cm*95cm*168cm(若加上三色灯是200cm,宽度加上Pump马达约为115cm) |
| 机台重量+Pump重量 | 整机重量约765KG(机台重量约680KG,而Pump马达重量约85KG) |
| 需求电源 |
1.3相220V、50/60Hz、4wire、30A 2.随机附380V转220V变压器 3.预留变压器空间100cm*60cm |
| Chamber腔体尺寸(W*D*H) | 尺寸：438*429*60mm |
| 材质 | 不锈钢 |
| 腔体上升高度 | 17cm |
| 电浆处理时间(UPH) | 2～10 min/batch |
| 抽气速度 | 频率60HZ时，速度：1800rpm |
| 轨道宽度 | 依产品之宽度设计（目前三轨最大宽度量测为96.2~97cm) |
| 轨道数量 | 小于70mm 为4轨，大于70mm为3轨 |
| 操作面板 | PC_based + 15″无触控屏幕 |
| 使用气体 | Ar、O2 |
