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产品介绍

半导体产业
非半导体产业
印刷电路板/软性电路板
玻璃
电浆处理

项  目 内     容
机台尺寸(W*D*H)  190cm*95cm*168cm(若加上三色灯是200cm,宽度加上Pump马达约为115cm)
机台重量+Pump重量 整机重量约765KG(机台重量约680KG,而Pump马达重量约85KG)
需求电源 3相220V、50/60Hz、4wire、30A 
  1. 随机附380V转220V变压器

  2. 预留变压器空间100cm*60cm 

Chamber腔体尺寸 尺寸:438*429*60mm
(W*D*H)  材质:不锈钢
腔体上升高度 17cm
电浆处理时间(UPH)  2~10 min/batch
抽气速度 频率60HZ时,速度:1800rpm
轨道宽度 依产品之宽度设计(目前三轨最大宽度量测为96.2~97cm)
轨道数量 小于70mm 为4轨,大于70mm为3轨
操作面板 PC_based + 15无触控屏幕 
使用气体 Ar、O2 


  • 产品描述
  • 规格
机台尺寸(W*D*H)  190cm*95cm*168cm(若加上三色灯是200cm,宽度加上Pump马达约为115cm)
机台重量+Pump重量 整机重量约765KG(机台重量约680KG,而Pump马达重量约85KG)
需求电源 1.3相220V、50/60Hz、4wire、30A  
2.随机附380V转220V变压器
3.预留变压器空间100cm*60cm 
Chamber腔体尺寸(W*D*H) 尺寸:438*429*60mm
材质 不锈钢
腔体上升高度 17cm
电浆处理时间(UPH)  2~10   min/batch
抽气速度 频率60HZ时,速度:1800rpm
轨道宽度 依产品之宽度设计(目前三轨最大宽度量测为96.2~97cm)
轨道数量 小于70mm   为4轨,大于70mm为3轨
操作面板 PC_based   + 15无触控屏幕 
使用气体 Ar、O2 


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